精密機械加工設備是用于制造或加工具有高度精度要求的零部件或產(chǎn)品的設備。以下是一些常見的精密機械加工設備：

　　1. 數(shù)控機床：包括數(shù)控車床、數(shù)控銑床、數(shù)控磨床等，通過計算機程序控制機床的運動和加工過程，實現(xiàn)高精度的自動加工。

　　2. 飛秒激光加工系統(tǒng)：利用超短激光脈沖進行材料切割、打孔、雕刻等精密加工，具有高精度的優(yōu)點。

　　3. 線切割機：采用金屬絲或線電極進行電火花加工，可以實現(xiàn)高精度的零件切割和形狀加工。

　　4. 精密磨床：用于平面磨削、外圓磨削、內(nèi)圓磨削等工藝，能夠?qū)崿F(xiàn)高度精密的零件加工。

　　5. 納米加工設備：包括原子力顯微鏡（AFM）、掃描電子顯微鏡（SEM）等，可用于納米級別的材料加工、表面修復和分析。

　　6. 去離子設備：用于去除零件表面的離子污染物，提高加工質(zhì)量和精度。

　　7. 真空設備：如真空爐、真空包裝機等，可以在無氧、無塵、低溫或特殊氣氛條件下進行精密加工。